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高級朗繆爾探針
A system for the analysis of secondary positive and negative ions from solid samples.

 

ESPion高級朗繆爾探針(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、精確地進行等離子體診斷,是最先進可靠的Langmuir探針。
 

·Hiden在被動射頻補償方面處于領先地位,在所有的商業化探針中 ESPion具有最高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm) 
· 參考探針補償用于抵制較低頻率影響,例如等離子體電位漂移(如,反應室內腔陽極氧化所致) 或噪音(如,供電源引起)
· 高溫等離子體操作時的氣體制冷多感應器鏈,使用者可調諧至其他頻率 

 

 

·獲得數據速度:     15scans/s

·通過D-O-E-界面可以自動/半自動/手動分析
·300600915mm 自動線性驅動器可選,互鎖隔離閥,

·90°探針,組合式線性-旋轉驅動器可選
·ESPion 是所有商業化探針中最快速的脈沖等離子體探針,

·ESPsoft 包括所有必需的標準脈沖選通電路

·自清洗循環,防止探針尖端污染
· 經由RS232RS485Ethernet LAN ESPsoft軟件控制


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