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二次離子質譜工作站
The Hiden SIMS Workstation provides for high performance static and dynamic SIMS applications for detailed surface composition analysis and depth profiling.

SIMS 工作站(SIMS Workstationa complete SIMS Analysis Facility) ,綜合UHV / SIMS 設備,進行高級的表面分析。可靠的、普遍適用的SIMS分析工作站。

 

·整合的離子源,便于RGASNMS

·各類型樣品的快速轉向

·陰、陽離子、中性粒子、自由基的質量、能量分析儀

·整合的離子槍光柵控制和信號選通,進行深度分析
·絕緣體研究中的電子流槍用于電荷中和
·液氮冷井和真空室烘烤加熱器
·自動的SIMS 離子光學透鏡調諧和質量數列表,使SIMS性能最佳

 

·Hiden EQS SIMS 分析儀,運行于 MASsoft O/S 之下,檢測限至ppb

·基本的激發源選擇: 帶差式泵的Hiden IG20 IonIFG200 FAB或高性能液態鎵槍
·快速樣品傳遞,樣品固定,負載鎖定的操縱器
·4 軸:X, Y, Z, θ UHV 操縱器,以最佳定位樣品
·加上ESM LabVIEWSIMS 成像程序,進行SIMS元素成像
·靜態SIMS譜圖庫可用

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