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PSM等離子體質量和能量分析質譜儀
Hiden plasma probes measure some of the key plasma parameters and provide detailed information relating to plasma reaction chemistry.


PSM是一臺差式泵質譜儀(In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis),分析等離子過程中的二次離子和中性粒子。

 

·差式泵歧管,通過法蘭與過程反應室連接

·電子附著選件,具有可調諧的離子源,用于表觀電勢MS
·Penning規和互鎖裝置可提供過壓保護
·信號選通分辨率1μs,用于研究脈沖等離子體或能量、質量分布VS時間
·標準分析中性粒子、自由基,+ve / -ve 離子分析可選

 

·靈敏度高 / 極穩定的3級過濾四極桿

·質量數范圍:     0 ~ 2500amu

·脈沖離子計數檢測器,7個數量級的動態范圍

·能量分析選件,標準 ±100eV1000eV可選

·Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可選, 高壓操作可選
·通過RS232RS485Ethernet LAN ,軟件MASsoft 控制

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